公司新闻

等离子体是物质第四态

等离子体内有大量的活性粒子：电子，离子，自由基， 光子等。 　　

等离子体已经被广泛应用与微电子领域：前道的刻蚀， 优化后的PECVD，后道的等离子体清洁活化等。